µWire AeroBar®

Der digitale Aerobar Standalone-Ionisationsstab Modell 5225S wurde speziell entwickelt, um hohe Leistung bei einfa­cher Integration und Bedienung zu bieten. Eine Auswahl an Ionisierungsmodi, Ausgangsspannung und Zeitsteuerung bietet Vielseitigkeit, um die Anforderungen an die Neutralisierung stati­scher Ladungen zu erfüllen.

• Alle Parameter werden in der Aerobar gespeichert
• Vollständig einstellbare Parameter in den Modi Pulsed DC oder
  Steady-state DC
• Ionenstromüberwachung
• Ionisierung kann auf die individuelle Anforderung an die statische Aufladung abgestimmt werden
• Gleichmässige Ionenproduktion
• Alarmfunktion für gesicherte Leistung
• Ultrareines Ermitterpunktmaterial ohne Risiko einer Verunreinigung der Wafer durch Dotierstoffe oder Metalle
• Ozonerzeugung <0,005 ppm

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